Ezeknek a hihetetlen mechanikai követelményeknek csak különleges anyagból, különleges technikával készült lapátok képesek megfelelni. Mivel az anyagok szilárdságát leginkább a szennyezések rontják, ezeket a lapátokat a mikroelektronikában megszokott, legszigorúbb tisztatéri környezetben gyártják.